迪元儀表,已專注流量?jī)x表行業(yè)20年，是中石化集團(tuán)市場(chǎng)成員單位，中石油集團(tuán)產(chǎn)品推薦單位并與娃哈哈、浙江中控、和利時(shí)、聯(lián)邦制藥、萊蕪鋼鐵、北方重工、長(zhǎng)春熱力等大型企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系。

漩渦流量計(jì)/渦街流量計(jì)是利用流動(dòng)體震動(dòng)原理來進(jìn)行流量測(cè)量，在特定流動(dòng)條件下，流體一部分動(dòng)能產(chǎn)生流體振動(dòng)，且振動(dòng)頻率與流體的速度（流量）有一定的關(guān)系。這種流量計(jì)可分為自然振蕩的卡門漩渦分離型和流體強(qiáng)迫振蕩的漩渦進(jìn)動(dòng)型。渦街流量計(jì)就是卡門漩渦分離型流量計(jì)。

迪元儀表生產(chǎn)的渦街流量計(jì)——在流體的流動(dòng)中，垂直地放置物體（漩渦發(fā)生體）在下游會(huì)產(chǎn)生頻率與流速成正比的漩渦。在此漩渦頻率f和流速之間，在進(jìn)行流量計(jì)算，轉(zhuǎn)換成統(tǒng)一信號(hào)。

溫壓補(bǔ)償渦街流量計(jì)——不但可以測(cè)量液體介質(zhì)，還可以測(cè)量氣體 蒸汽及飽和蒸汽介質(zhì)

迪元儀表自主研發(fā)生產(chǎn)的YYW溫壓補(bǔ)償渦街質(zhì)量流量計(jì)——采用特殊軟件處理，溫壓補(bǔ)償渦街流量計(jì)在測(cè)量時(shí)同時(shí)測(cè)量介質(zhì)的體積流量和介質(zhì)的溫度、壓力值，再根據(jù)介質(zhì)的密度與溫度壓力的關(guān)系，由計(jì)算后得到的介質(zhì)的質(zhì)量流量值輸出。所以稱為補(bǔ)償式質(zhì)量流量計(jì)。

YYW溫壓補(bǔ)償式渦街質(zhì)量流量計(jì) 精度較高，量程比較寬。使用范圍廣泛，可以測(cè)量于液體、氣體、蒸汽介質(zhì)的體積流量，還可以轉(zhuǎn)換成質(zhì)量流量測(cè)量。輸。出與流體流速成正比的脈沖信號(hào)，不存在零漂問題

技術(shù)指標(biāo)：

儀表精度：±1%FS                  測(cè)量介質(zhì)：液體 氣體

介質(zhì)溫度：-50°~+300℃           量程比：10:1

工作壓力0~4.0MPa

流量范圍: 氣體5~50m/s 液體0.5m~7m/s 蒸汽7~70m/s

詳情請(qǐng)登錄，迪元儀表有限公司官方網(wǎng)站：http://www.zjdiyuan.com

 FMU90-R11CA111AA3A

商務(wù)熱線：18915182577 電話：   86994618

一、概 述          ST-R108熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，是依據(jù)吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)的原理，該儀表的傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻（鉑RTD）組成。一個(gè)是質(zhì)量速度傳感器T1，一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測(cè)氣體中時(shí)，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個(gè)恒定的溫差，另一個(gè)傳感器T2用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度。隨著氣體質(zhì)量流速的增加，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降，要維持T1、T2恒定的溫度差，T1的加熱功率就要增大。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律。移動(dòng)的氣體分子撞擊熱電阻時(shí)吸收帶走熱量，流量越大，接觸熱電阻的分子越多，吸收的熱量越多，熱吸收與某種氣體的分子數(shù)，熱學(xué)特性和流動(dòng)特性有關(guān)。加熱功率P、溫度差△T（T1-T2）與質(zhì)量流量Q有確定的數(shù)學(xué)關(guān)系式。 P/△T=K1+K2 f（Q）K3 K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)區(qū)別于其它氣體流量計(jì)，不需要進(jìn)行壓力和溫度修正，直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，是真正的直接式質(zhì)量流量計(jì)，一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。   二、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)用 ● 氧氣、氮?dú)?、氫氣、氯氣及多組分氣體測(cè)量。（乙炔氣體除外）。 ● 高爐煤氣、焦?fàn)t煤氣測(cè)量。 ● 煙道氣測(cè)量。 ● 沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測(cè)量。 ● 壓縮空氣測(cè)量。 ● 天然氣、液化氣、火炬氣等氣體流量測(cè)量。 ● 電廠高爐的一次風(fēng)、二次風(fēng)流量測(cè)量。 ● 礦井下通風(fēng)或排風(fēng)系統(tǒng)流量測(cè)量。   三、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)特點(diǎn) ● 測(cè)量氣體質(zhì)量流量，無需溫度、壓力補(bǔ)償。 ● 量程比大，測(cè)量流速范圍：0.1Nm/s～100Nm/s。 ● 無壓力損失，適用已知截面積的任意形狀管道。 ● 耐腐蝕型傳感器，適合測(cè)量腐蝕性氣體。 ● 全量程段的專家算法，特別適合大口徑測(cè)量保證了測(cè)量的準(zhǔn)確度，適于貿(mào)易結(jié)算。 ● 可以出色的完成工藝管道的檢漏及設(shè)備工作。 ● 施工量極小，由于采用插入式結(jié)構(gòu)，可以在線安裝和維護(hù)。 ● 基地式儀表可以就地顯示和帶報(bào)警控制。   四、主要技術(shù)指標(biāo) 測(cè)量介質(zhì) 各種氣體（乙炔氣除外） 管徑范圍 DN15～2000 流速范圍 0.1Nm/s～100Nm/s（標(biāo)況條件20℃，101.33KPa） 準(zhǔn)確度 ±1% 介質(zhì)溫度 常溫：-20～+100℃   高溫：-20～+350℃ 工作壓力 4.0MPa 供電電源 一體式轉(zhuǎn)換器AC220V或DC24V1A　　 分體式轉(zhuǎn)換器：AC220V 響應(yīng)速度 1秒 輸出信號(hào) 4～20mA 　RS～485 測(cè)量顯示 質(zhì)量流量、標(biāo)況體積流量、累計(jì)流量、北京時(shí)間、累計(jì)運(yùn)行時(shí)間。 傳感器防護(hù)等級(jí) IP68 轉(zhuǎn)換器防護(hù)等級(jí) 一體式：IP67　分體壁掛式：IP65 　　分體盤裝式：IP52 防爆等級(jí) EXd II CT4 報(bào) 警 1-2路繼電器結(jié)點(diǎn)：5A/AC220V、5A/DC30V自設(shè)定 傳感器材質(zhì) 1Cr18Ni9Ti、哈氏合金、鈦、316L、鋁、304不銹鋼 探桿材質(zhì) 1Cr18Ni9Ti、316L、304不銹鋼                                           五、產(chǎn)品組成     熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)由一體式流量轉(zhuǎn)換器、流量傳感器組成。按流量傳感器的型式分為：插入式和管段式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)。     管段式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)：出廠時(shí)已配備和現(xiàn)場(chǎng)管道內(nèi)徑相同的工藝管道，與現(xiàn)場(chǎng)管道的連接方式為法蘭連接或螺紋連接，法蘭標(biāo)準(zhǔn)符合國(guó)標(biāo)GB/T9119-2000。管段式傳感器適用管道直徑：DN15～2000mm，傳感器材質(zhì)為不銹鋼，管道材質(zhì)為碳鋼或不銹鋼，特殊材質(zhì)訂貨時(shí)說明。   熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)由金湖歐亞儀表有限公司專業(yè)生產(chǎn)，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的種類包括：管道式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)和插入式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)     江蘇舜天工控儀表有限公司專業(yè)生產(chǎn)熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)。產(chǎn)品使用壽命長(zhǎng)，穩(wěn)定性好，質(zhì)量過硬，品種齊全，制造精密，技術(shù)先進(jìn)，歡迎選購！我公司本著以質(zhì)量求發(fā)展，以信譽(yù)贏天下的理念竭誠為您服務(wù)。     想了解產(chǎn)品價(jià)格，請(qǐng)撥打我公司銷售熱線:   18852326123

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：MF5000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是結(jié)合微機(jī)（MEMS）流量傳感芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量?jī)x表，主要技術(shù)性能處于國(guó)際領(lǐng)先水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點(diǎn)；針對(duì)工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì)；且具有多種信號(hào)輸出，能通過通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝和維護(hù)方面也具有其獨(dú)特的優(yōu)越性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)狻⒒?、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。產(chǎn)品特點(diǎn)：-  采用微機(jī)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長(zhǎng)技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí)，使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。  -  在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計(jì)的量程比（范圍度）大大提高。  -  傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有極大的改善。  -  結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。  -  技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。  -  采用LCD顯示"瞬時(shí)流量"和"累計(jì)流量"，清晰直觀，讀數(shù)方便。  -  產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù)，具有更高抗干擾能力。  -  流量計(jì)帶有RS485通訊模塊，配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。  -  可以選配4～20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

MF5000微型氣體質(zhì)量流量計(jì)是MEMS流量傳感芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量?jī)x表，主要技術(shù)性能處于國(guó)際領(lǐng)先水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點(diǎn)；針對(duì)工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì)；且具有多種信號(hào)輸出，能通過通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝和維護(hù)方面也具有其獨(dú)特的優(yōu)越性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。

MF5003微型氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)：

 　 - 采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長(zhǎng)技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí)，使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。 　MF5006微型氣體質(zhì)量流量計(jì) - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計(jì)的量程比（范圍度）大大提高。 　MF5008微型氣體質(zhì)量流量計(jì)- 傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有極大的改善。 　 MF50012微型氣體質(zhì)量流量計(jì)- 結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。 　 - 技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。 　 - 采用LCD顯示"瞬時(shí)流量"和"累計(jì)流量"，清晰直觀，讀數(shù)方便。 　 - 產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù)，具有更高抗干擾能力。 　 - 流量計(jì)帶有RS485通訊模塊，配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。 　 - 可以選配4～20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。

MF50019微型氣體質(zhì)量流量計(jì)機(jī)械尺寸：

技術(shù)參數(shù)：

精確度           ±(1.5+0.2FS)% 測(cè)量范圍        0.01~65m/sec  測(cè)量管徑        1~19 mm     使用環(huán)境         溫度: -20~65顯 示             瞬時(shí)流量; 累計(jì)流量                   輸出模式        4~20mA; RS485; 脈沖校準(zhǔn)條件        20^oC; 101.325 kPa.

產(chǎn)品選型：

 高品質(zhì)山武氣體質(zhì)量流量計(jì)CMG系列的定義：

質(zhì)量流量計(jì)

用于液體和氣體測(cè)量的通用型多變量流量計(jì)優(yōu)點(diǎn)在不同過程條件下，Promass系列流量計(jì)均可在測(cè)量過程中同時(shí)完成多個(gè)過程變量（質(zhì)量、密度、溫度）的測(cè)量Proline變送器具有下列優(yōu)點(diǎn):采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和操作方法，使變送器具有更高的測(cè)量效率數(shù)據(jù)備份功能，提升了過程生產(chǎn)的質(zhì)量Promass系列傳感器，經(jīng)過超過十萬次試驗(yàn)和測(cè)試，具有下列優(yōu)點(diǎn):一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的多變量流量測(cè)量采用平衡雙管測(cè)量系統(tǒng)，抗振性強(qiáng)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，能有效抵消外部管路的壓力無需考慮前后直管段長(zhǎng)度，安裝簡(jiǎn)便

主營(yíng)產(chǎn)品：GEMU， FLOWSERVE， 德國(guó)E+H， 北京E+H， SSP齒輪泵，http://www.sh-centorisi.com/

 1、HT-RQ型管道式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)

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2、質(zhì)量流量計(jì)

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)詳細(xì)介紹：

◆專有流量數(shù)據(jù)模型算法；模糊理論控制溫度、濕度算法；◆高性能智能微處理器及模數(shù)、數(shù)模轉(zhuǎn)換芯片；◆寬量程比1000：1；大口徑，低流速，壓損可忽略；◆直接測(cè)量質(zhì)量流量，無須溫壓補(bǔ)償；◆低流速測(cè)量非常靈敏；◆設(shè)計(jì)、選型方便，安裝、使用簡(jiǎn)便；◆適合各類單一或混合氣體流量測(cè)量。

應(yīng)用場(chǎng)合：■公用工程－－-電﹑氣﹑ 水處理的監(jiān)控管道的氣體；通用系統(tǒng)；沼氣；煤氣；天然氣；液化氣；鍋爐預(yù)熱空氣■石油與天然氣工業(yè)能量交換；填井氣回收； 燃?xì)庥?jì)量；氣體質(zhì)量分析；泄漏氣測(cè)試；天然氣測(cè)量；火炬氣的監(jiān)控■電力行業(yè)燃料系統(tǒng)中氣體分配過程中的氣體測(cè)量；鍋爐及輔助系統(tǒng)中各種氣體的測(cè)量；燃?xì)鉅t中氣體測(cè)量；氫氣測(cè)量；電廠高爐的一次風(fēng)、二次風(fēng)的測(cè)量■化學(xué)行業(yè)煙氣循環(huán)監(jiān)測(cè)；采樣系統(tǒng)中氣體流量計(jì)量；引風(fēng)機(jī)的氣體流量計(jì)量；化肥廠氨氣測(cè)量 ；電池工廠各種氣體流量測(cè)量■冶金行業(yè)鋼鐵廠加氣測(cè)量；煉鐵廠高爐煤氣的測(cè)量；焦化廠焦?fàn)t煤氣的測(cè)量；軋鋼廠加熱爐燃?xì)猓ǜ郀t煤氣、焦化煤氣、天然氣等）的測(cè)量控制；熱處理淬火爐等的氫、氧、氮等氣體的控制■紙漿與造紙行業(yè)廢水處理系統(tǒng)中氣體的測(cè)量；煙道流量監(jiān)控；鍋爐回收二次/三次空氣；鍋爐的燃?xì)夂涂諝馑惋L(fēng)測(cè)量■食品及醫(yī)藥行業(yè)加工操作中新鮮空氣的加入；啤酒廠中的二氧化碳處理；瓶子消毒器中的熱空氣的流量；熱氧化過程中氣體流量測(cè)量；通風(fēng)系統(tǒng)；鍋爐進(jìn)氣﹑廢氣﹑過程控制■環(huán)保沼氣利用過程中的氣體測(cè)量；氯氣處理過程中氯氣氣體測(cè)量；污水處理過程中曝氣池的氣體測(cè)量；煙筒煙道排氣監(jiān)測(cè)SO2和NOX的排量 ■其他行業(yè)工廠壓縮空氣測(cè)量；煤粉燃燒過程粉/氣配比控制燃料；水泥工業(yè)豎式磨粉機(jī)排放熱氣流量控制

工作原理：■JTRSL系列流量計(jì)/流量開關(guān)是基于熱擴(kuò)散原理的流量?jī)x表。即是利用流體流過發(fā)熱物體時(shí)，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定的比例關(guān)系。具體來說，該流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD，一只用來做熱源，一只用來測(cè)量流體溫度，流體流過時(shí)，兩者之間的溫度差與流量的大小成非線性關(guān)系，該儀表就可以把這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。■利用熱擴(kuò)散原理制造的流量計(jì)有兩種設(shè)計(jì)方法：一是：基于恒溫差原理；二是基于恒功率原理?；诠餐臄?shù)據(jù)模型：P/△T=A+B（Q）N。其中：P－－-耗散功率，△T－－-兩個(gè)傳感器之間的溫差， Q－－-質(zhì)量流量，N－－-指數(shù)系數(shù)，A、B是與氣體的熱性能有關(guān)的系數(shù)。■恒溫差原理：△T保持不變，耗散功率P與流體的流量Q成指數(shù)函數(shù)遞增的關(guān)系?！龊愎β试恚汉纳⒐β什蛔?，溫度差△T與流體的流量Q成指數(shù)函數(shù)遞減的關(guān)系。產(chǎn)品特點(diǎn)：• 采用穩(wěn)定性極高的專利技術(shù)鉑RTD傳感器• 采用享有專有技術(shù)”平衡結(jié)構(gòu)封裝”,介質(zhì)溫度自補(bǔ)償• 專有算法,可實(shí)現(xiàn)高線性、高重復(fù)性、高精度• 量程比寬1000:1,可據(jù)用戶要求可拓展• 可實(shí)現(xiàn)大管徑小流量測(cè)量，最小流量可測(cè)低至零,分辨率0.001m/s• 無可動(dòng)部件、振動(dòng)影響可忽略• 直管段要求不高1-2D• 與介質(zhì)的溫度、壓力無關(guān)• 專有高溫算法，介質(zhì)溫度可達(dá)+510℃，• 采用高濕算法，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量• 對(duì)流量信號(hào)鍵入12點(diǎn)動(dòng)態(tài)修正，內(nèi)置10點(diǎn)修正• 在線動(dòng)態(tài)校正電流/電壓輸出• 對(duì)粉塵等小顆粒不敏感• 在線不斷流裝卸，維護(hù)方便結(jié)構(gòu)形式： 一體插入式 分體插入式 管道式性能指標(biāo)：

• 測(cè)量范圍：0—120Nm/s （20℃，101.33KPa）• 準(zhǔn)確度: ±1%的讀數(shù) ±0.5%滿量程• 量程比：通常100：1（取決于標(biāo)定流量的范圍）• 管徑范圍: 10mm～6000mm• 應(yīng)用范圍: 適合各類單一或混合氣體。含塵、含沙、含濕氣、各種腐蝕性氣體• 環(huán)境溫度范圍: -40℃～+85℃（無顯示）; -30℃～+70℃（有顯示）; 濕度小于90%RH• 介質(zhì)溫度范圍: -40℃～+100℃；-40℃～+200℃； -40℃～+450℃；-40℃～+510℃• 傳感器直徑：ф3、ф2.5• 插入式傳感器探桿直徑：ф19（標(biāo)準(zhǔn)）、ф16、ф12• 傳感器材質(zhì)：316不銹鋼、哈氏合金、鈦• 探桿材質(zhì)（保護(hù)套）： 316不銹鋼（標(biāo)準(zhǔn)）、哈氏合金• 雙向測(cè)量介質(zhì)流量• 模擬量輸出：流量：4-20mADC, 溫度：4-20mADC, 最大負(fù)載:1000Ω• 累積脈沖量輸出• 鍵入12段非線性修正，內(nèi)置10段非線性修正• 通訊：串口輸出RS232/RS485• 供電電源：24VDC/600mA；220VAC/2W；110VAC/3W• 報(bào)警：1－2路繼電器輸出、5A/220V、5A/30VDC、鍵入設(shè)定??• 大屏幕LCD顯示：七位瞬時(shí)流量，八位累積流量• 過程壓力:1.6Mpa（最大20MPa）• 安裝工藝形式：插入式（卡套、卡套＋球閥、法蘭連接），管道式（法蘭、螺紋連接）• 防爆等級(jí)：本安型（iaⅡCT5）、隔爆型（ExdⅡCT4）• 防護(hù)等級(jí)：IP65

產(chǎn)品選型：

 AALBORG氣體質(zhì)量流量計(jì)

得米特（天津）科技有限公司供應(yīng)美國(guó)Aalborg, Aalborg氣體質(zhì)量流量計(jì), Aalborg控制器

美國(guó)Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)：性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器

典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)：－剛性金屬結(jié)構(gòu) －流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm －最大壓力500psig（34.5Bar） －泄漏率1＊10-7氦氣 －NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明 －可傾斜的LCD讀表 －0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出 －電路保護(hù) －可用作便攜式的設(shè)備 －0到100％比例顯示 －可配備流量計(jì)算機(jī) 精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力?？蛇x±1％滿量程（標(biāo)定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。 重復(fù)性：±0.5％滿量程 回應(yīng)時(shí)間：實(shí)際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒 溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃ 壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar） 氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃） 輸出信號(hào)：0-5Vdc，最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 傳感器輸出：＋12Vdc；最大200Ω。＋24Vdc可選 時(shí)間恒量：800ms 氣體壓力：最大1000psig（70bar）。可選20psig（1.4bar） 流體接觸面材質(zhì)：A：GFC鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán) B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不銹鋼系列：316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。 方位靈敏度：水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置 連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR®或1／8"卡套可選（GFC17） GFC47：3／8"卡套螺紋 GFC57：3／8"卡套螺紋 GFC67：1／2"卡套螺紋 GFC77：3／4"卡套螺紋 VCR®或3／4"卡套可選（GFC77）

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