項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
儀器型號(hào) | EM12-PV |
激光波長 | 632.8nm (He-Ne Laser) |
膜厚測(cè)量重復(fù)性(1) | 0.2nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
0.2nm (對(duì)于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層) | |
折射率精度(1) | 2x10-3 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
2x10-3 (對(duì)于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層) | |
單次測(cè)量時(shí)間 | 與測(cè)量設(shè)置相關(guān),典型1.6s |
光學(xué)結(jié)構(gòu) | PSCA(Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度) |
激光光束直徑 | 1-2mm |
入射角度 | 40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié),步進(jìn)5° |
樣品方位調(diào)整 | 一體化樣品臺(tái)輕松變換可測(cè)量單晶或多晶樣品 |
可測(cè)量156*156mm電池樣品上每個(gè)點(diǎn) | |
Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm | |
二維俯仰調(diào)節(jié):±4° | |
樣品對(duì)準(zhǔn):光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) | |
樣品臺(tái)尺寸 | 平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm |
兼容125*125mm和156*156mm的太陽能電池樣品 | |
的膜層厚度范圍 | 粗糙表面樣品:與絨面物理結(jié)構(gòu)及材料性質(zhì)相關(guān) |
光滑平面樣品:透明薄膜可達(dá)4um,吸收薄膜與材料性質(zhì)相關(guān) | |
外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí)) |
儀器重量(凈重) | 25Kg |
選配件 | 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺(tái) |
真空吸附泵 | |
軟件 | ETEM軟件: |
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