該設(shè)備是按照標(biāo)準(zhǔn)gb/t1553“硅單晶少數(shù)載流子壽命測定的高頻光電導(dǎo)衰減法”設(shè)計制造。高頻光電導(dǎo)衰減法在我國半導(dǎo)體集成電路、晶體管、整流器件、核探測器行業(yè)已運用了三十多年,積累了豐富的使用經(jīng)驗,經(jīng)過數(shù)次全國十多個單位巡回測試的考驗,證明是一種成熟可靠的測試方法,特別適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測量;也可對硅片進(jìn)行測量,給出相對壽命值。
更新時間:2024-12-13