瑞士 sawatec熱版機hp-150，是為典型的軟烘焙和硬烘焙工藝的巖性，在mems和類似的應(yīng)用。默認(rèn)情況下，溫度范圍設(shè)計為250℃以下。設(shè)定的溫度和溫度分布具有較窄的邊界，這意味著可以達到較高的涂層質(zhì)量。hp系列產(chǎn)品具有較高的均勻性和高精度的工藝重復(fù)性，令人信服。可用于直徑150mm以下，大厚度5mm的襯底。

瑞士sawatec 顯影機 leaflet_smd-200，用于清洗和顯影8英寸(200mm)以下的晶圓或6英寸(150x150mm)以下的基板。

瑞士sawatec 3d微觀結(jié)構(gòu)的均勻噴涂機leaflet_ispay-300_cn，是一款精密的噴膠機，適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝，主要被應(yīng)用于研究與開發(fā)實驗室，尤其是 mems 加工的試產(chǎn)和小量產(chǎn)場合。

美國scs旋轉(zhuǎn)涂覆儀g3-8, g3p-8, g3p-12，g3p-15，是一款用于實驗室、研發(fā)的桌面式儀器，應(yīng)用于在平面基板上高精度的液體材料涂敷，象光刻膠、聚酰亞胺、金屬有機化合物、攙雜劑、硅質(zhì)薄膜等。g3 旋轉(zhuǎn)涂敷機系統(tǒng)在操作精度和編程靈活性方面采用了新的標(biāo)準(zhǔn)，具有很高的旋轉(zhuǎn)精度和重復(fù)精度， 擁有精度高的加速/減速控制。

瑞典mycronic 掩膜計量系統(tǒng)prexision-mms*更佳的配準(zhǔn): 30%*更好地將掩膜套合到掩膜上: 20%*更短的周轉(zhuǎn)時間: 30%· 新的創(chuàng)新性prexision平臺具備優(yōu)異的精準(zhǔn)度與可重復(fù)性· 用我們的利技術(shù)改善配準(zhǔn)測量?！?因為次測量的結(jié)果精確無誤，這大大給您節(jié)省了周轉(zhuǎn)時間。· 充分發(fā)揮我們的prexision光刻機的潛力。