光伏電池片hmds處理系統(tǒng)，hmds預(yù)處理烘箱就是涂膠要進(jìn)行增粘處理。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無(wú)法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過(guò)hmds表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。

hmds烘箱用真空泵，hmds系統(tǒng)無(wú)油泵為無(wú)油、緊湊型、噪音小的高性能真空泵。idp 泵采用單面渦輪設(shè)計(jì)，可通過(guò)簡(jiǎn)單的工具直接執(zhí)行 15 分鐘的維護(hù)操作。高泵送速度和緊湊的尺寸使其成為研究，分析儀器和實(shí)驗(yàn)室市場(chǎng)中許多應(yīng)用的理想選擇。

堅(jiān)膜烘箱 百潔凈烘箱 氮?dú)鉄o(wú)塵烘箱是通過(guò)加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面，并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

氮?dú)鉂崈艉嫦? 光刻膠無(wú)塵烘箱 前烘氮?dú)夂嫦? 百級(jí)烤箱在勻膠結(jié)束后，使用溫度95°烘5min來(lái)提高光刻膠的致密性以及與晶圓的粘附性。